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热式质量流量控制器HM-5000

概述
 HM5000分为气体用质量流量计和质量流量控制器两种。流量测量采用不受压力・温度变化影响的质量流量测量,可以高精度地控制各种气体的流量。具有通用型和高性能型两种。